PEGASUS软件

  PEGASUS软件是专业低温等离子体与淡薄气体仿真软件，该软件专心于淡薄气体的直接蒙特卡洛模仿和各种外表科学以及各种气压下放电等离子体仿真核算，能大规模的运用在等离子体技能、半导体/微电子工业、真空技能、薄膜技能、微细加工技能等范畴研讨开发，运用职业包含电子/半导体、新材料(纳米管、光纤)、新能源(燃料电池、太阳能光伏)、MEMS、光学、陶瓷、食物/饮料、轿车、航天、金属加工等范畴。

  PHM/PHM3D(Plasma Hybrid Module)根据流体模型，经过求解电子连续性方程和能量方程给出电子密度与温度

  3.1 放电等离子体源(CCP、ICP、DBD、空心阴极、辉光、微放电等)

  PEGASUS供给等离子放电进程及功能监测的仿真才能，能够给出放电进程中不同阶段等离子体的运动特征散布及能量散布等。能够仿真低气压中高频鼓励下的容性放电；也能够适用于研讨几托到几百托，乃至更高气压下，高频线圈鼓励的感应耦合放电；还可拿来核算有绝缘介质刺进的大气压下的介质阻挠放电。能够适用于放电等离子体源的放电参数以及设备规划等，也能够适用于对微等离子体放电的内部进程进行机理研讨。

  下面是日本名古屋大学Prof. Hori试验室的刻蚀反应器，进行模仿成果与试验成果符合。作业气体为5Pa的H2，气体流量为200sccm，射频源为60MHz，200V。选用PIC-MCCM和NMEM模块耦合仿真。

  PHM模块与中性模块DSMCM的耦合核算。气压20mTorr，感应线MHz。

  运用第一步运算成果的密度散布，电场改变以及模型文件；仿真运用IMCSM模块，选用二维轴对称模型。

  关于磁控溅射的仿线) 在布景磁场作用下，经过气体放电，取得抵达靶材壁面的离子流量；3) 具有必定能量的离子轰击到靶材，溅射靶材原子；4) 溅射出来的靶材原子堆积到基片，构成镀膜。

  真空蒸腾镀膜是在真空条件下，用蒸腾器加热蒸腾物质使之汽化，蒸腾粒子流直接射向基片上堆积构成固态薄膜的技能。RGS3D模块运用直接蒙特卡洛办法模仿气体分子的磕碰和输运进程，能够核算三维恣意形状的淡薄气体活动，既能处理结构化网格也能处理四面体非结构化网格模型，支撑模型中有运动的部件、蒸腾源、进气出气端口等特征。能够输出中性粒子密度、温度、流速、能量散布等参数，能够核算粒子的压强、平均自由程、流场散布等参数。若需求热辐射核算，需求HTRM3D模块，它用于核算固体的热传导和热辐射。HTRM3D能够和RGS3D耦合迭代核算。

  1）3D真空蒸镀进程仿线D模块对真空蒸镀进程进行模仿，并与试验成果进行了比照。一起给出了蒸镀粒子在空间中的散布。

  多源共蒸腾仿真，用于显示器面板OLED工艺仿真，包含真空腔内淡薄气体仿真、热仿真和面板壁面的堆积仿真。

  NMEM模块、DSMCM模块和RGS3D模块是专关于中性淡薄气体的仿真模块，分别为流体算法和中性算法。能够对10^(-9)Pa至10atm气压规模的中性气体的行为、特征进行表征。能够仿真淡薄气体中的纳米粒子在微标准下的分子与原子行为；也能够对多种真空设备中的淡薄气体进行动理学和粘性流的模仿。一起，中性淡薄气体的模仿能够与等离子放电进行耦合，剖析中性粒子对等离子体中的带电粒子的影响。

  本例仿线km高空，高速飞翔器的气动模型。仿线Pa）混合气体，飞船移动速度为5000m/s（约14.7马赫）。模仿飞船飞翔顶风面遭到的大气阻力以与气体的冲突发热作用。仿线D模块。

  真空室为环形轮胎状结构，环形中心半径2000mm，环形截面半径500mm。冷凝管半径12.8mm，保持温度4.5K。线Pa。仿真依照对称结构截取环形的1/20参加核算，扇角20。RGS3D建模以及非结构化网格区分如下：